对于低蒸汽压气体(WF6，DCS，BCl3，C5F8，ClF3等)，需要考虑钢瓶加热，气体面板加热，管道伴热等。为了精确控制流量，在气源端一般会考虑配置高精度的压力变送器、电子秤、温控器等。在机台用气点也都配置了质量流量计，压力调节阀。对于剧毒、高反应性和自燃气体，应使用双套管输送。同时管道的设计要采用零死区设计，即整个管道系统从气柜到VMB、从VMB到用气点，要点对点，中间不允许有在气体置换时有残留空气的死角。因此，整个管路系统中由VMB完成气体的分配，中间没有三通。然后管道还要有良好的接地。实验室气体管道功能性要求，管道设计应满足气体使用的流量和压力要求，保证实验过程中供气的稳定性。上海实验室气体管道设计价位

气体管道设计规范：1.阀门与氧气接触部分应采用非燃烧材料。其密封圈应采用有色金属、不锈钢及聚四氟乙烯等材料。填料应采用经除油处理的石墨石棉或聚四氟乙烯。2.气体管道的连接应采用焊接或法兰连接等形式，氢气管道不得用螺纹连接，高纯气体管道应采用承插焊接。3.气体管道与设备、阀门及其他附件的连接应采用法兰或螺纹连接，螺纹接头的丝扣填料应采用聚四氟乙烯薄膜或一氧化铅、甘油调和填料。4.气体管道设计的安全技术应符合每台（组）用氢设备的支管和氢气放空管上应设置阻火器的规定。上海实验室气体管道设计价位压力调节器入口前需加装烧结金属过滤器以防止颗粒等杂质污染系统。

吸送式，通常以20～40 m/s的高速气流在管路系统内悬浮输送物料，较高真空度可达60 kPa。该系统在许多行业中采用，如图2.1.0所示，物料的输送过程是在风机的一侧完成的，该系统具有以下特点。1—回转式供料器；2—料仓；3—输料管；4－次旋风分拽器；5－排料器；6一料罐；7一二次旋风分离器；8一罗茨鼓风机。1 保证物料和灰尘不会飞逸外扬。2 适宜于物料从几处向一处集中输送。3 适用于堆积面广或存放在深处的物料输送。4 进料方式比压送系统中的供料器简单。5 对卸料口、除尘器的严密性要求高，致使这两种设备构造较复杂。6 输送量、输送距离受到限制，且动力消耗较高。

负压吸引系统：系统需设水分离器，地面必须有排水槽。油润滑滑片式真空泵：具有空气冷却、低噪音、震动少的优点。内部单向阀保护吸引系统不被污染，油雾分离器保护环境和减少油的损失。由于该设备是空气冷却，设备机房必须要有良好的透风。负压吸引系统附属设备：双重细菌过滤器：防止真空泵及真空罐被污染。不中断气流可替换过滤器：2个可交替使用的微粒过滤器。污物接收器：收集污染的及液体，保护真空系统正常运转，不中断气流可清理污染物。真空缓冲罐：防止真空泵频繁起动。气体纯度大于或等于99.99%的气体管道宜采用不锈钢管、铜管或无缝钢管。

高纯气体管路设计要点：01输送系统“分等级”，对高纯气体纯度要求不同的用气设备，宜采用分等级高纯气体输送系统；也可采用同等级输送系统，但是在纯度要求高的用气设备临近处设末端气体提纯装置。02采样仪器及“采样口”，为了检测高纯气体的纯度和杂质含量，输送系统除了设置必要的连续检测仪器，如衡量水含量或者氧杂质等分析仪外，还应设置定期取样用的检测采样口，以便按规定时间进行采样，分析高纯气体中各种杂质的含量。03确保气体纯度，在亚微米级的集成电路生产中，要求供应10－9级的高纯气体，为了确保末端用气工艺设备处的气体纯度，使气体中的杂质含量（包括尘粒）控制在规定的数值内，一般在设备前设置末端纯化装置，或末端高精度气体过滤器。压力调节面板和气路控制终端上粘贴气路编号、气体种类、浓度等标识。上海实验室气体管道设计价位

放空管应高出层顶2m以上，并应设在防雷保护区内。上海实验室气体管道设计价位

随着科技的不断进步，芯片制造技术越来越先进，对净化车间的要求也越来越高。在净化车间建设中，工业气体管道设计是非常重要的一项工作。下面，我们随合洁科技电子净化工程来了解一些必须要知道的设计标准。一、气体种类的选择，在设计气体管道时，首先需要明确管道运输的气体种类。不同的气体种类有不同的物理、化学性质，对管道材质、管道直径等都有不同的要求。因此，选择合适的气体种类至关重要。二、管道材质的选择，气体管道的材质对于气体输送的安全和可靠性有着重要的影响。因此，在选择管道材质时，需要考虑气体的性质、压力、温度等因素。一般来说，不锈钢、铜、塑料等材质都是比较常用的。上海实验室气体管道设计价位

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