微泰,传输阀 (L-MOTION)、L型转换阀、输送阀、转移阀应用于晶圆加工,半导体加工,可替代VAT闸阀。其特点是• 主体材料:铝或不锈钢• 紧凑型设计• 使用维修配件工具包易于维护• 应用:半导体系统中小于 450mm 晶圆的传输和处理室隔离,传输阀 (L-MOTION)、输送阀、转移阀规格如下:闸门密封类型:传输阀 (L-MOTION)、左动转换阀、驱动方式:气动、法兰尺寸(内径) 32×222/46×236/50×336/56×500 、连接方式:焊接波纹管、闸门密封 Viton O 形圈/硫化密封件、阀盖密封:氟橡胶O型圈、响应时间:≤ 2 sec、工作压力范围:1×10-10 mbar to 1200 mbar、开始时的压差:≤ 30 mbar、开启时压差: ≤ 1200 mbar r、泄漏率不锈钢:< 1×10 -9Mbarℓ/秒/铝:< 1×10 -5 mbar ℓ/秒、维护前可用次数: ≥1,000,000次、阀体温度≤ 200 °、机构温度≤ 80 °C、烤炉温度≤ 200 °C、材料:阀体(不锈钢304)/驱动器(铝6061阳极氧化)、安装位置:任意、操作压力(N2):4 ~ 7 bar。有中国台湾Micron、UMC、AKT、新加坡Micron,Global Foundries、马来西亚的英菲尼亚半导体、日本Micron、三星半导体和其它的设备使用业绩,上海安宇泰环保科技有限公司。 高压闸阀结构简单,制造和维修比较方便。工作行程小,启闭时间短。密封性好,密封面间磨擦力小,寿命较长。多位闸阀角控制阀
闸阀是各种类型阀门中应用很多的阀门。闸阀根据闸板的的构造又分为两大类:楔式闸板和平板闸板。楔式闸阀是闸阀中应用很广的闸阀,它的密封面与垂直中心线形成某个角度,即两个密封面形成楔形。密封面的倾斜角度有2度52分,5度,8度,10度等。角度的大小取决于介质温度的高低,一般工作温度越高,所取角度越大,以减少温度变化时发生楔住的可能性。楔式闸阀中,又有双闸板、单闸板和弹性闸板之分。双闸板的优点是:对密封面的角度的精度要求不高,温度变化不易引起楔住现象,密封面的磨损可以在维修时加垫片补偿。缺点是,这种结构零件较多,同时在粘性介质中容易粘结,影响密封。尤其是当上下挡板或螺栓螺母强度常年锈蚀后闸板容易脱落失效。多位闸阀角控制阀真空闸阀对于隔离不同的真空室、控制工艺过程中的气流以及在不影响真空环境的情况下促进维护或维修很重要。
微泰,铝闸阀应用于• Evaporation(蒸发)• Sputtering(溅射)• Diamond growth by MW-PACVD(通过MW-PACVD生长金刚石)• PECV• PVD(Cluster,Roll to Roll)(集群、卷对卷)• Coating(涂层)• Etch(蚀刻)• Diffusion(扩散)•CVD(化学气相沉积)等设备上。期特点是*不论什么工艺的设备都可以使用*由半永久性陶瓷球和弹簧组成*应用:隔离泵。铝闸阀规格如下:驱动方式:手动、法兰尺寸:1.5英寸~ 10英寸、阀体:AL6061 (Anodizing)、机械装置:AL6061 (Anodizing)、阀门:O型圈(VITON)、真空密封:O型圈(VITON)、响应时间≤ 3 sec、驱动器:气缸、操作泄漏率< 1×10-10 mbar ℓ/sec、压力范围:< 1×10-10 mbar ℓ/sec、开始时的压差:≤ 30 mbar、初次维护前可用次数100,000次、阀体温度≤ 120 °执行机构温度≤ 60 °C、安装位置:任意、操作压力(N2):4 ~ 7 bar。有中国台湾Micron、UMC、AKT、新加坡Micron,Global Foundries、马来西亚的英菲尼亚半导体、日本Micron、三星半导体和其它的设备使用业绩。可替代VAT阀门。
微泰主要产品有1、-手动锁定阀:操作锁定按钮关闭正在抽吸中的切断阀门切断现象的源头:2、特殊阀门:全金属配件构成,由电磁阀+传感器+D-Sub+角阀组成;3、三位阀:半开功能的压力控制阀。气动闸阀:•产品范围:1.5~30英寸•高压/超高压都可用•维护前可用次数:25万次•响应时间:0.2秒~3秒;手动(锁定)闸阀•产品范围:1.5~12英寸•高压/超高压都可用•维护前可用次数:25万次;专门用闸阀:产品范围:1.5~12英寸•高压/超高压都可用•维护前可用次数:25万次,响应时间:0.2秒客户指定的法兰,可安装角阀;三位闸阀:产品范围:2.5~12英寸•高压/超高压都可用•维护前可用次数:20万次•响应时间:0.2秒~3秒;有中国台湾Micron、UMC、AKT、新加坡Micron,Global Foundries、马来西亚的英菲尼亚半导体、日本Micron、三星半导体和其它的设备使用业绩,可替代HVA闸阀、VAT闸阀。上海安宇泰环保科技有限公司。正确安装、定期维护以及遵守制造商指南对于这些阀门的性能发挥和使用寿命至关重要。
闸阀(gate valve)是一个启闭件闸板,闸板的运动方向与流体方向相垂直,闸阀只能作全开和全关,不能作调节和节流。闸阀通过阀座和闸板接触进行密封,通常密封面会堆焊金属材料以增加耐磨性,如堆焊1Cr13、STL6、不锈钢等。闸板有刚性闸板和弹性闸板,根据闸板的不同,闸阀分为刚性闸阀和弹性闸阀。闸阀关闭时,密封面可以只依靠介质压力来密封,即只依靠介质压力将闸板的密封面压向另一侧的阀座来保证密封面的密封,这就是自密封。大部分闸阀是采用强制密封的,即阀门关闭时,要依靠外力强行将闸板压向阀座, 以保证密封面的密封性。闸阀流动阻力小。阀体内部介质通道是直通的,介质成直线流动,流动阻力小。多位闸阀角控制阀
控制系统和蝶阀使用步进电机操作,而多定位闸阀使用气动控制操作。多位闸阀角控制阀
闸阀是一种用于控制流体流动的阀门,通常用于管道中,以实现流体的开启、关闭或调节流量。它的工作原理是通过旋转或升降闸板来截断或导引流体流动。根据不同的应用场景,闸阀可以分为多种类型,如手动闸阀、电动闸阀、气动闸阀等。插板阀是一种用于控制流体介质的流动方向的阀门,其主要特点是结构简单、启闭迅速、密封性能好,广泛应用于石油、化工、水处理等领域。插板阀是一种用于控制流体流动的阀门,广泛应用于管道系统中,以下是其一些基本应用:1.化工行业:在化工生产过程中,插板阀用于控制介质的输送,实现管道的启闭。2.污水处理:在污水处理系统中,插板阀用于调节水质和流量,保证污水处理效果。3.水电行业:在水电站中,插板阀用于调节水流量,实现水轮机的启动和停止。4.燃气行业:在燃气输配系统中,插板阀用于控制燃气的输送和分配。5.城市供水:在城市供水系统中,插板阀用于调节水压和水流量,保证居民生活用水。6.工业生产:在各类工业生产过程中,插板阀用于控制物料输送,提高生产效率。多位闸阀角控制阀
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