立式自旋转电火花线切割机(卧式自旋转电火花线切割机)。立式回转电火花线切割机的特点与传统的高速走丝和低速走丝电火花线切割加工均有不同,首先是电极丝的运动方式比传统两种的电火花线切割加工多了一个电极丝的回转运动;其次,电极丝走丝速度介于高速走丝和低速走丝之间,青海专业线切割加工哪家便宜,青海专业线切割加工哪家便宜,速度为1~2mm/s。由于加工过程中电极丝增加了旋转运动,所以立式回旋电火花线切割机与其他类型线切割机相比,比较大的区别在于走丝系统。立式回转电火花线切割机的走丝系统由走丝端和放丝端两套结构完全相同的两端做为走丝结构,实现了电极丝的高速旋转运动和低速走丝的复合运动,青海专业线切割加工哪家便宜。两套主轴头之间的区域为有效加工区域。除走丝系统外,机床其他组成部分与高速走丝线切割机相同。
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线切割工艺主要涉及到以下几个参数:切割钢线的线速度,切割台速,砂浆流量和温度。
钢线的高速运动是砂浆的载体,碳化硅就是通过粘连在钢线周围的悬浮液对硅块进行切割的。切割过程中线速过低,线网承受的压力会很大,导致线弓变大,很容易出现断线;线速过快,虽然线网压力减小,但是带砂浆能力会减弱,砂浆来不及被带入硅块内,同样会导致切割产生锯痕等不良品。所以线速度要适中,既要保证一定的线弓,又要能够比较大限度的将砂浆带入被切割的硅块中。
切割台速 。切割的工作台速度是很重要的参数,它不但影响着整个的加工时间,也在很大程度上决定了硅片的薄厚程度。台速设置过慢加工时间变长,这样浪费生产时间,这样也会使生产成本增加;台速设置过快,与砂浆的切割能力不匹配,会导致硅片在入刀、中间和出刀产生薄厚差距过大的情况,严重的会产生不合格硅片。
砂浆的流量和温度 。砂浆的流量一般在入刀、中间和出刀过程中有所区别。入刀时流量偏低,因为此时台速一般较慢,不需要很强的切割能力;中间阶段流量比较大,需要保证砂浆的切割能力;出刀时可以降低流量也可以不降,由于切割后期碳化硅颗粒已经在很大程度上磨损,导致切割能力下降,所以可以不降流量的完成切割。
电火花线切割加工的甚本规律。在电火花线切割加工过程中,工件和电极都要受到不同程度的腐蚀。实践证明,即使工件和电极材料完全相同,也会因为所接电源的极性不同而有不同的蚀除速度.这一现象称为“极性效应。在电场力的作用下容易在短时间内获得较大的运动速度.因此即使采用较短的脉冲进行加工也能迅速地到达阳极.轰击阳极表面;正离子由于质量大.惯性也大,因此在相同时间内获得的速度远小于电子。当采用短脉冲电压进行加工时,大部分正离子尚未到达负极表面,脉冲便结束,所以负极的蚀除量小于正极。但是,当用较大的脉冲电压加工时,正离子可以有足够的时间加速,获得较大的运动速度,并有足够的时间到达负极。另外,由于它的质量大,因而正离子对负极的轰极作用远大于电子对正极的轰击,因此负极的蚀除量大于正极。
由以上分析可知.脉冲宽度是影响极性效应的一个主要原因。实际加工中,极性效应还受到工具电极与工件电极材料、加工介质、电源种类、单个脉冲能量等因索的影响。在电火花加工中,极性效应愈明显愈好,要充分利用极性效应,正确选择加工极性,使工件的蚀除量大于电极的蚀除量,比较大限度降低电极损耗。极性的选择主要靠经验或实验确定。
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