真空镀膜设备所在实验室或车间应保持清洁卫生。地面为水磨石或木质涂漆地面、无尘埃。为防止机械泵工作时排出的气体对实验室环境的污染，可采用在泵的排气口上面装设排气管道（金属、橡胶管）的办法，将气体排出室外。 在购买前对所需准备做的工作细致了解，一台真空镀膜机并不便宜，随着真空镀膜行业的飞快发展，须镀膜的产品对于膜层的要求也在逐渐提升，对设备模具降温要求也非常高，冷却是真空镀膜设备必配的设备，江苏电子束真空镀膜机特点，江苏电子束真空镀膜机特点，真空镀膜机对所使用材料范围也在渐渐扩大，那对真空镀膜机选冷水机而言要跟上产品节奏具有一定挑战，江苏电子束真空镀膜机特点。 真空镀膜机严格要求无油时,应该选各种无油泵,如:干泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵低温泵等。江苏电子束真空镀膜机特点

对真空镀膜设备而言，真空泵是 其获得真空环境不能缺少的一个组成部分,生产厂家每制造一台真空镀膜设备均搭配一种或多种真空泵。真空镀膜机如何选型选用真空泵时，需要注意真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。如:真空镀膜机要求1x10-5mmHg的真空度, 选用的真空泵的真空度至少要5x10-6mmHg.真空镀膜机对于真空度的极限要求和工作压力强度要求越来越大，对真空泵的抽真空能力要求就越高，通常选择泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级。真空泵在其工作压强下,应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。 江苏电子束真空镀膜机特点真空镀膜机如果要求不严格,可以选择有油泵,加上一些防油污染措施,如加冷阱、障板、挡油阱等。

真空镀膜机辅助抽气系统中机械泵与罗茨泵的使用。机械泵也叫前级泵，机械泵是应用较普遍的一种低真空泵，它是用油来保持密封效果并依靠机械的方法不断的改变泵内吸气空腔的体积，使被抽容器内气体的体积不断膨胀从而获得真空。机械泵有很多种，常用的有滑阀式、活塞往复式、定片式和旋片式四种类型。机械泵常常被用来抽除干燥的空气，但不能抽除含氧量过高、有性和腐蚀性的气体，机械泵一般被用来抽除长久性的气体，但是对水气没有好的效果，所以它不能抽除水气。旋片泵中起主要作用的部件是定子、转子、弹片等，转子在定子里面但与定子不同心轴，象两个内切圆，转子槽内装有两片弹片，两弹片中间装有弹簧，保证了弹片紧紧贴在定子的内壁。

现在很多厂家对于真空镀膜设备的维护保养都不是很清楚，在需要进行保养维护的时候，结果却无从下手，让很多有真空镀膜设备厂家非常头疼。在进行真空镀膜机故障排除时，应先检测低真空是否正常（机械泵、罗茨泵、管道、下室、蒸发室），低真空正常后再开主泵，主泵正常后检测下室真空中是否正常，下室真空正常再开高阀进行高真空检测检漏，直至达到真空，极限真空、保真空、恢复真空，如极限真空和保真空正常，而恢复真空和真空不正常则可能主泵有问题。真空镀膜设备每完成200个镀膜程序以上，应清洁工作室一次。方法：用烧碱(NaOH)饱和溶液反复擦洗真空室内壁，( 注意人体皮肤不可以直接接触烧碱溶液，以免灼伤)目的是使镀上去的膜料铝(AL)与NaOH发生反应，反应后膜层脱落，并释放出氢气。再用清水清洗真空室和用布沾汽油清洗精抽阀内的污垢。检查真空镀膜机各操作控制开关是否在"关"位置。

薄膜均匀性概念: 1.厚度上的均匀性，也可以理解为粗糙度，在光学薄膜的尺度上看（也就是1/10波长作为单位，约为100A），真空镀膜的均匀性已经相当好，可以轻松将粗糙度控制在可见光波长的1/10范围内，也就是说对于薄膜的光学特性来说，真空镀膜没有任何障碍。 但是如果是指原子层尺度上的均匀度，也就是说要实现10A甚至1A的表面平整，具体控制因素下面会根据不同镀膜给出详细解释。 2.化学组分上的均匀性： 就是说在薄膜中，化合物的原子组分会由于尺度过小而很容易的产生不均匀特性，SiTiO3薄膜，如果镀膜过程不科学，那么实际表面的组分并不是SiTiO3，而可能是其他的比例，镀的膜并非是想要的膜的化学成分，这也是真空镀膜的技术含量所在。 清理钟罩内各部位，保证无任何杂质污物。江苏电子束真空镀膜机特点

向滚轮轴承室内压入ZG-4号钙基润滑脂，以充满轴承室空间的2/3为宜。江苏电子束真空镀膜机特点

辅助抽气系统：排气系统为镀膜机真空系统的重要部分，主要有由机械泵、增压泵(主要介绍罗茨泵)、油扩散泵三大部分组成。此排气系统采用“扩散泵+机械泵+罗茨泵+低温冷阱+polycold”组成。排气流程为：机械泵先将真空腔抽至小于2.0*10-2PA左右的低真空状态，为扩散泵后继抽真空提供前提，之后当扩散泵抽真空腔的时候，机械泵又配合油扩散泵组成串联，以这样的方式完成抽气动作。 机械泵：也叫前级泵，机械泵是应用较普遍的一种低真空泵，它是用油来保持密封效果并依靠机械的方法不断的改变泵内吸气空腔的体积，使被抽容器内气体的体积不断膨胀从而获得真空。江苏电子束真空镀膜机特点

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